围绕介-微-纳米尺度精密制造和跨尺度制造中的基础科学问题,研究介-微-纳米尺度制造过程的基本规律,发展若干介-微-纳米尺度制造的相关工艺与装备原理,为实现介-微-纳尺寸的控形控性制造、操纵、检测等提供理论基础与技术支撑。提出了超声辅助半固态金属微触变成形技术,用于醇类重整制氢的微凸台阵列型制氢反应载体薄板的多尺度制造,解决了制氢微反应器制造效率低、成本高的问题;提出了内嵌微四棱锥台介电层的柔性电容式触觉感知阵列的结构新设计与微制造,实现了假肢手物体抓握过程中的轻微接触与稳定抓取时的三维触觉力的高灵敏感知;提出并发展了能够获得多孔隙材料的半固态粉末成形方法和获得纳米晶的超声能场辅助粉末微成形方法,建立了层叠式热电构件成形制造、热电臂尺寸的设计与优化、功能梯度型热电臂结构设计、热电器件的集成与装配测试等关键技术。